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      產品詳情
      • 真空回流爐

      • 德國ATV 公司一直致力于真空、熱處理設備的生產開發。其*杰出的真空回流爐焊接系統,通過紅外燈管加熱,在冷壁式腔體中實現快速升溫回流和硬釬焊的工藝。SRO-706Getter型真空回流爐,工作區域尺寸300mmX240mm。此款回流爐專對MEMS器件在高真空下做充分的烘烤除氣,減少器件內部吸附的氣體.對MEMS器件內部的吸氣劑進行高溫激活,使得吸氣劑能在器件工作壽命期間持續吸收器件內部釋放出的以及從大氣微漏至器件內的氣體;對MEMS器件的管殼和蓋板實現高氣密性的封焊,焊接面上無空洞。
      • 產品文檔:

      真空回流爐

      發布時間 : 2023-09-21 10:06

      ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑,業務專注于真空熱處理工藝設備,主要應用在混合電路、半導體和表面貼裝領域。;理想的焊接系統,帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO),是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D,工藝研發,由低至高產能生產的理想選擇。全自動生產能力可有多種方式實現:與粘片機在線集成、與粘片機系統集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統的襯底傳送. 應用領域主要應用領域為無缺陷焊接和無助焊劑焊接、IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。

      技術參數
      尺寸: 960x720x1340(長、寬、高)
      工作高度: 950 – 1050mm 可調
      重量: 240kg\
      加熱區域尺寸: 313x240mm
      加熱原理: 紅外輻射
      加熱方式: 上、下雙層紅外燈管陣列排放, 石英管套在燈管外層起到保護作用
      加熱區域: 分6個區域由各自的PID控制
      腔體門手動開關;自動上鎖解鎖
      閉環式冷卻水循環系統
      功率: 19kW
      電源: 3 x 400VAC 50/60Hz; 32A
      加熱板上方空間高度: 100mm
      *高溫450°C
      均溫性: 加熱板面積的85%區域內 (加熱板邊緣往里15mm), 均溫性< +/-2-3% 
      氦漏率 < 5,0 x 10-9mbar x l/s
      直徑25mm前端可視窗
      可選項
      真空
      ?<5 x 10-2mbar, 機械干泵
      ?<5 x 10-6mbar, 機械干泵/分子泵
      氣體分析
      ?殘余氣體分析
      ?O2 監測
      ?濕氣 (水) 監測

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